為何半導(dǎo)體磨邊機(jī)與晶圓倒角機(jī)需要10萬轉(zhuǎn)氣浮主軸?

在半導(dǎo)體制造工藝中，磨邊和倒角是確保晶圓質(zhì)量的關(guān)鍵工序。

NAKANISHI氣浮主軸ABT-1000氣浮主軸以其100,000轉(zhuǎn)/分鐘的高轉(zhuǎn)速和≤1μm的高精度，

成為這些高要求應(yīng)用的理想解決方案。

 核心原因：精度與安全的雙重保障

1. 應(yīng)對材料特性挑戰(zhàn)

現(xiàn)代晶圓厚度已降至50~100μm（3D IC堆疊），傳統(tǒng)主軸易導(dǎo)致：

邊緣崩裂：切削力控制不佳產(chǎn)生微裂紋

隱性損傷：振動(dòng)傳遞造成內(nèi)部應(yīng)力

熱影響區(qū)：摩擦熱導(dǎo)致材料性質(zhì)變化

2. 氣浮技術(shù)的獨(dú)特優(yōu)勢

ABT-1000采用非接觸氣浮軸承：

零摩擦運(yùn)行：完全消除磨損顆粒污染

熱控制：常溫氣流確保加工溫度穩(wěn)定

極致平穩(wěn)：無振動(dòng)旋轉(zhuǎn)保證邊緣質(zhì)量

 為何選擇10萬轉(zhuǎn)高轉(zhuǎn)速氣浮主軸？

精細(xì)切削：極高轉(zhuǎn)速配合極小切削力，實(shí)現(xiàn)"無應(yīng)力切割"。

效率提升：單位時(shí)間內(nèi)更多切削點(diǎn)，加工效率提高40%。

質(zhì)量保障：高轉(zhuǎn)速確保每單元切削量極小，形成完美鏡面效果。